低エネルギーＸ線を発生させるための装置

摘要

軟Ｘ線を生成するためのＸ線源であって、支持構造によって支持された電子放出構造を有する陰極であって、電子放出構造は、支持構造によって囲まれた領域内でＸ線に対し少なくとも部分的に透過性である、陰極と、陰極の電子放出構造に平行なＸ線放出表面を有する陽極と、陽極と陰極との間に配置された電気絶縁スペーサとを備え、陰極の電子放出構造および陽極のＸ線放出表面は、使用中に、電子放出構造が、電子によって陽極に衝撃を与えてＸ線をＸ線放出表面から放出させて陰極を通り抜けさせるように動作可能であるように配置され、絶縁スペーサは、陽極と陰極の支持構造との間に配置され、陽極の一部にわたって前記支持構造を超えて前記領域へ突出する、Ｘ線源。