Messsystem zur Bestimmung des spektral aufgelösten gerichteten Reflexionsgrades von Spiegelproben

摘要

Die Erfindung betrifft ein Messsystem zur Bestimmung des spektral aufgelösten gerichteten Reflexionsgrades von Spiegelproben (3), mit einem Strahlungserzeuger (5) zur Erzeugung von kollimierter elektromagentischer Strahlung (7) von definierter Wellenlänge und einer Strahlungsdetektorvorrichtung (21) mit einem Strahlungssammler (22) und mindestens einem Strahlungsdetektor (27a, 27b), wobei die kollimierte elektromagentische Strahlung (7) auf die Spiegelprobe (3) gestrahlt wird und die von der Spiegelprobe (3) reflektierte Strahlung (7a) mit der Strahlungsdetektorvorrichtung (21) detektiert wird, wobei der Strahlungssammler (22) eine Eintrittsöffnung (23) mit einer vorgegebenen Größe aufweist und ein Strahlungskonzentrator (19) von der Spiegelprobe (3) reflektierte kollimierte elektromagentische Strahlung (7a) auf die (23) Eintrittsöffnung konzentriert.