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经营范围
发明名称
INDUCTIVE COUPLING PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
KR20000077209(A)
申请公布日期
2000.12.26
申请号
KR1020000024869
申请日期
2000.05.10
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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