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发明名称 A method of filling in microscopic holes
摘要
申请公布号 KR100821959(B1) 申请公布日期 2008.04.15
申请号 KR20020023217 申请日期 2002.04.27
申请人 发明人
分类号 C08K5/00;H01L21/3205;C08L61/20;G03F7/20;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 C08K5/00
代理机构 代理人
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