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发明名称 PLASMABEHANDLUNGSAPPARATUR UND PLASMABEHANDLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60036631(T2) 申请公布日期 2008.07.17
申请号 DE20006036631T 申请日期 2000.08.11
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 TOMOYASU, MASAYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;B01J19/08;C23C16/52;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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