| 发明名称 | 非接触静电驱动的MEMS器件 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种具有减少的静摩擦的微机电系统(MEMS)器件(200)。MEMS器件包括成形在衬底上的电极(216)和一对外部电极(220)。电极包括多个延伸部，所述延伸部限定了多个散置在所述延伸部(218)中的凹槽(221)。外部电极包括多个位于电极的凹槽内的多个延伸部。 | ||
| 申请公布号 | CN101164005A | 申请公布日期 | 2008.04.16 |
| 申请号 | CN200680013416.0 | 申请日期 | 2006.04.24 |
| 申请人 | 德克萨斯仪器股份有限公司 | 发明人 | M·H·施特伦皮尔 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01);G02B26/00(2006.01) | 主分类号 | G02B26/08(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1.一种微机电器件，包括：衬底；形成在所述衬底上的第一电极，所述第一电极具有多个隔开的延伸部，所述延伸部从所述第一电极的相对侧延伸，所述隔开的延伸部限定了多个散置在所述延伸部中的凹槽；一对附加的电极，其形成在所述衬底上，邻近所述第一电极的所述相对侧，所述附加的电极具有位于所述凹槽内的多个隔开的延伸部，所述凹槽限定在所述第一电极的相对侧。 | ||
| 地址 | 美国德克萨斯州 | ||