发明名称 Gestapelte Metallschichten mit verschiedenen Dicken
摘要 Ein Halbleiterchip weist eine Vielzahl von gestapelten leitenden Schichten auf. Die Vielzahl von gestapelten leitenden Schichten umfasst eine erste leitende Schicht, eine zweite leitende Schicht und eine dritte leitende Schicht. Die erste leitende Schicht ist auf einer ersten Seite der zweiten leitenden Schicht angeordnet. Die dritte leitende Schicht ist auf einer zweiten Seite der zweiten leitenden Schicht angeordnet. Die dritte leitende Schicht ist auf einer Seite der zweiten leitenden Schicht angeordnet. Die zweite leitende Schicht hat eine Dicke, die größer als die der ersten leitenden Schicht und der dritten leitenden Schicht ist.
申请公布号 DE102015122157(A1) 申请公布日期 2016.07.07
申请号 DE201510122157 申请日期 2015.12.18
申请人 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. 发明人 Liaw, Jhon Jhy
分类号 H01L23/522;H01L27/088;H01L27/11 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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