发明名称 |
Gestapelte Metallschichten mit verschiedenen Dicken |
摘要 |
Ein Halbleiterchip weist eine Vielzahl von gestapelten leitenden Schichten auf. Die Vielzahl von gestapelten leitenden Schichten umfasst eine erste leitende Schicht, eine zweite leitende Schicht und eine dritte leitende Schicht. Die erste leitende Schicht ist auf einer ersten Seite der zweiten leitenden Schicht angeordnet. Die dritte leitende Schicht ist auf einer zweiten Seite der zweiten leitenden Schicht angeordnet. Die dritte leitende Schicht ist auf einer Seite der zweiten leitenden Schicht angeordnet. Die zweite leitende Schicht hat eine Dicke, die größer als die der ersten leitenden Schicht und der dritten leitenden Schicht ist. |
申请公布号 |
DE102015122157(A1) |
申请公布日期 |
2016.07.07 |
申请号 |
DE201510122157 |
申请日期 |
2015.12.18 |
申请人 |
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. |
发明人 |
Liaw, Jhon Jhy |
分类号 |
H01L23/522;H01L27/088;H01L27/11 |
主分类号 |
H01L23/522 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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