Halbleiterstruktur und Verfahren zum Herstellen von dieser

摘要

Eine Halbleiterstruktur umfasst ein Halbleitersubstrat, mindestens eine dielektrische Schicht, eine dielektrische Spacer-Liner-Schicht (DSL-Schicht) und mindestens einen Leiter. Die dielektrische Schicht ist auf dem Halbleitersubstrat vorhanden. Die dielektrische Schicht weist mindestens ein Kontaktloch auf, das mindestens einen Abschnitt des Halbleitersubstrats freilegt. Das Halbleitersubstrat weist mindestens eine Aussparung auf, die mit dem Kontaktloch kommuniziert. Die Aussparung weist eine untere Fläche und mindestens eine Seitenwand auf. Die DSL-Schicht ist zumindest auf der Seitenwand der Aussparung vorhanden. Der Leiter ist zumindest teilweise in dem Kontaktloch vorhanden und ist elektrisch mit dem Halbleitersubstrat verbunden.