摘要 |
본 발명의 일 실시예는 열처리 시스템에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 다수의 지지 기둥과, 지지 기둥에 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버로 이루어진 기판 지지부; 기판 지지부가 결합되며, 전측이 개방된 육면체 형태의 내부 하우징; 내부 하우징을 감싸며, 전측이 개방된 육면체 형태의 외부 하우징; 및, 외부 하우징을 관통하여 기판 지지부의 지지 기둥에 밀착된 기움 방지 블럭으로 이루어진 열처리 시스템을 개시한다. |