发明名称 APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20010097278(A) 申请公布日期 2001.11.08
申请号 KR20000021225 申请日期 2000.04.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, NAM JUNG
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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