Schwingungssteuerungssockel und Installationsverfahren desselben

摘要

Es werden ein Schwingungssteuerungssockel (100) und ein Installationsverfahren desselben, das ein Verfahren zum Reduzieren von Partikeln und Schwingungen während eines Bewegens einer Ausrüstung, die eine Halbleiterausrüstung umfasst, von einem Schwingungssteuerungssockel (100) zu einem anderen umfasst, offenbart. Der Schwingungssteuerungssockel (100) umfasst einen Ausrüstungsträgerkörper (110) mit mindestens zwei Ausrüstungsträgerzellen (120). Eine Zellenverbindungseinheit (130) geht durch Seitenoberflächen der Ausrüstungsträgerzellen (120) und verbindet die Ausrüstungsträgerzellen (120) miteinander. Eine Bodenstruktur (150), die unter dem Ausrüstungsträgerkörper (110) installiert ist, versteift den Ausrüstungsträgerkörper (110).