光学測定装置およびプローブシステム

摘要

測定対象に測定光を出射し、測定対象から放射された放射光を受光するプローブにより受光された放射光を集光して、放射光を分光する分光器に向けて出射する第１調整光学素子と、当該放射光の光強度分布を検出する検出部と、第１調整光学素子を放射光の光軸方向及び放射光の光軸方向に垂直な平面上に移動させる移動部と、移動部を制御する制御部と、を備え、検出部の検出結果に基づいて、放射光の受光光量が増えるように、第１調整光学素子を放射光の光軸方向及び放射光の光軸に垂直な平面上に移動させる光学測定装置。