| 发明名称 |
THERMALLY STABLE VACUUM TABLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0265648(B1) |
申请公布日期 |
1991.03.27 |
| 申请号 |
EP19870113465 |
申请日期 |
1987.09.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
STROPE, DOUGLAS HOWARD |
| 分类号 |
G01M11/04;G01B9/021;G02B7/00;G03H1/04 |
主分类号 |
G01M11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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