| 发明名称 |
VISUAL INSPECTION SYSTEM FOR LASER DIODE ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0750327(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
| 申请号 |
JP19930197170 |
申请日期 |
1993.08.09 |
| 申请人 |
NEC CORP;NEC ENG LTD |
发明人 |
SATO TADAAKI;YOSHIDA EIJI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/66;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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