发明名称 ELEMENT FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0855792(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19950180070 申请日期 1995.07.17
申请人 CANON INC 发明人 SANO NAOTO;AKETAGAWA MASATO;MIYAHARA MASAYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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