发明名称 DEVICE FOR COOLING X-RAY OPTICAL ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0854499(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940188571 申请日期 1994.08.10
申请人 NKK CORP 发明人 USUI TORU;SANO YOSHIHIRO;AIZAWA KAZUO
分类号 G21K1/06;F28F13/06;G03F7/20;(IPC1-7):G21K1/06 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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