PLASMA PROCESSING DEVICE, AND PLASMA PROCESSING METHOD,申请号JP19940190212-传众专利搜索

发明名称	PLASMA PROCESSING DEVICE, AND PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号	JPH0855698(A)	申请公布日期	1996.02.27
申请号	JP19940190212	申请日期	1994.08.12
申请人	FUJITSU LTD	发明人	MIHARA SATOSHI
分类号	H05H1/46;C23C16/44;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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