发明名称 |
二氧化锡透明导电膜的制造装置 |
摘要 |
本实用新型创造涉及二氧化锡透明导电膜的制造装置,以陶瓷管作为传动件构成,包括数根同步滚动的陶瓷管构成送带装置。包括窑体、电机控制装置、传动链、齿轮传送装置、窑体加热装置,镀膜衬底在陶瓷管传送带上被传送至窑体中部,窑体中部喷头对衬底表面喷镀二氧化锡透明导电膜层。主传动侧设有电机、传动链、齿轮传送装置、锁紧口,从动侧设有固定齿轮,数根陶瓷管水平放置,一头被锁定,可以不停机更换陶瓷管,不影响生产。克服了用金属传送带易腐蚀,衬底变形。提高衬底温度,使导电膜牢固产品质量提高,延长设备使用寿命,降低生产成本。 |
申请公布号 |
CN2707775Y |
申请公布日期 |
2005.07.06 |
申请号 |
CN200420044723.3 |
申请日期 |
2004.04.14 |
申请人 |
李毅 |
发明人 |
郑泽文;李毅 |
分类号 |
C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
深圳市毅颖专利商标事务所 |
代理人 |
张艺影;李奕晖 |
主权项 |
1、一种二氧化锡透明导电膜的制造装置,其特征在于镀膜辊道窑由陶瓷管作为传动件,还包括由电机装置带动的传动装置,所述镀膜辊道窑的窑体内设加热体,且窑体中间安装若干根陶瓷管,由数根陶瓷管构成的传送带在齿轮传动装置作用下匀速滚动,衬底在陶瓷管上作水平移动到窑体中部,在设有喷头装置的窑体内对衬底表面喷镀二氧化锡透明导电膜层。 |
地址 |
518031广东省深圳市福田区华强南渡前村29号24栋504室 |