发明名称 Förfarande för framställning av en plattkondensator och plattkondensatorarrangemang
摘要 <p>A fabrication method for parallel-plate structures and a parallel-plate structure arrangement, wherein the structures have a middle layer, grown on a substrate and disposed between top and bottom electrode layers, wherein the middle layer and the top and bottom electrode layers are deposited on a bottom substrate, and wherein the middle layer is grown first and the top and bottom electrodes are essentially deposited afterwards.</p>
申请公布号 FI20060832(A) 申请公布日期 2008.03.19
申请号 FI20060000832 申请日期 2006.09.18
申请人 VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS, 发明人 RIEKKINEN,TOMMI;MATTILA,TOMI
分类号 H01G4/33;H01G4/12;H01G4/40;H01L41/29;H01L41/39;H05K1/16 主分类号 H01G4/33
代理机构 代理人
主权项
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