摘要 |
Eine Ausführungsform stellt eine Halbleiter-Waferstruktur mit einem Halbleiter-Wafer und einer Abstandshalterschicht bereit. Der Halbleiter-Wafer enthält aktive Bereiche. Die Abstandshalterschicht ist konfiguriert, für einen Abstand zwischen den Halbleiter-Dies in einem Stacked-Die-Baustein zu sorgen, und die Abstandshalterschicht ist auf einer Seite des Halbleiter-Wafers angeordnet. |