一种液晶显示装置的制造方法

摘要

本发明提供了一种能减少掩模工序数量的液晶显示装置及其制造方。液晶显示装置及其制造方法包括：通过第一掩模工序，在基板上形成栅极图案和公共电极；在包含栅极和公共电极的基板上顺序形成栅绝缘层和有源层；通过第二掩模工序，在所述有源层上形成源极/漏极电极；在整个基板上形成钝化层；通过第三掩模工序，在钝化层上形成感光层图案；通过使用感光层图案作为掩模蚀刻钝化层来形成暴露漏极的接触孔；在包含接触孔的感光层图案上形成导电层；在导电层上形成感光层；通过选择性地移除感光层来暴露导电层；和通过移除暴露的导电层部分、剩余的感光层和感光层图案来形成像素电极。

主权项

1. 一种制造液晶显示装置的方法，该方法包括：通过第一掩模工序，在基板上形成栅极和公共电极；在包含栅极和公共电极的所述基板上顺序形成栅绝缘层和有源层；通过第二掩模工序，在所述有源层上形成源极/漏极；在整个基板上形成钝化层；通过第三掩模工序，在所述钝化层上形成第一感光层图案；使用所述第一感光层图案作为掩模选择性地移除钝化层，从而形成多个孔；在包含多个孔的所述第一感光层图案上形成导电层；在所述导电层上形成第二感光层；选择性地移除所述第二感光层，从而暴露导电层；和选择性地移除暴露的导电层部分、剩余的所述第二感光层和所述第一感光层图案，从而形成像素电极。