| 发明名称 | 一种基于MEMS技术的微液量计量装置及其方法 | ||
| 摘要 | 一种基于MEMS技术的微液量计量装置及其方法，所述微液量计量装置包括：气闭管道；MEMS微结构压力传感器，该传感器的P1管与大气相通，P2管与气闭管道连接，该传感器测出大气同气闭管道中气体的压力差并输出，利用该压力差可计算出被计量液体的体积。 | ||
| 申请公布号 | CN101598586A | 申请公布日期 | 2009.12.09 |
| 申请号 | CN200910131646.2 | 申请日期 | 2009.04.13 |
| 申请人 | 广州市怡文科技有限公司 | 发明人 | 肖巍;冯中宝;刘旭东;田海涛;徐剑飞;陈杰 |
| 分类号 | G01F22/02(2006.01)I;G01L13/00(2006.01)I | 主分类号 | G01F22/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1.一种微液量计量装置，其中包括：气闭管道，实现MEMS微结构压力传感器同液体的隔离，防止所述传感器被污水损害；MEMS微结构压力传感器，所述传感器的P1管与大气相通，并且该传感器的P2管与气闭管道连接，该传感器测出大气同气闭管道中气体的压力差并输出。 | ||
| 地址 | 510335广东省广州市萝岗区广州科学城神舟路885号B栋3楼 | ||