LiCoO2 LiCoO2 SPUTTERING TARGET PRODUCTION METHOD THEREFOR AND POSITIVE ELECTRODE MATERIAL THIN FILM
摘要
LiCoO의 조성으로 이루어지는 스퍼터링 타깃으로서, 타깃의 저항률이 100 Ω㎝ 이하이고, 상대 밀도가 80 ％ 이상인 것을 특징으로 하는 LiCoO스퍼터링 타깃. 본 발명의 스퍼터링 타깃은, 자동차 탑재용, 정보 통신 기기용, 가정 기기용 등에 사용되는 전고체형 박막 리튬 이온 이차 전지에 있어서의 정극재 박막의 형성에 유용하다.
