| 摘要 |
본 발명은 전원 공급 시스템, 및 동작의 방법들에 관한 것으로, 하나 이상의 센서들을 통해, 발생기, 매칭 네트워크, 및 플라즈마 부하의 특성들을 모니터하고, 국부 제어기를 통해 이들 구성 부품들을 제어하도록 구성되어 플라즈마 부하의 전원 공급 정확도 및 균일성을 향상시키도록 한다. 제어는, 부품들 간의 변경 및 서너 가지 예를 들면, 플라즈마 밀도, 단부 포인트, 및 플라즈마 광 방출의 스펙트럼 부품들과 같은 비전기적 특성은 물론 전원 공급 시스템의 파워 특성의 통합된 모니터링에 기초할 수 있다. |
