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发明名称 FORMING METHOD OF OPTICAL THIN FILM AND ITS FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0856053(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940188083 申请日期 1994.08.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITANI KATSUHIKO
分类号 C23C14/40;H01L21/31;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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