| 发明名称 | 放射线感应组合物、叠层体及其制造方法以及电子部件 | ||
| 摘要 | 本发明提供电特性优异、溶解稳定性优良，没有涂布不均，安全性高的放射线感应组合物，在基板上形成使用该放射线感应组合物形成的树脂膜的叠层体、以及该叠层体的制造方法。本发明的放射线感应组合物含有具有质子性极性基的环状烯烃类聚合物、放射线感应化合物、交联剂以及溶剂，其特征在于，该溶剂含有在同一分子内具有互不相同的两个烷基的二亚烷基二醇二烷基醚。本发明的叠层体包括基板、和在其上使用上述放射线感应组合物形成的树脂膜。 | ||
| 申请公布号 | CN1957299A | 申请公布日期 | 2007.05.02 |
| 申请号 | CN200580016692.8 | 申请日期 | 2005.03.22 |
| 申请人 | 日本瑞翁株式会社 | 发明人 | 东广和;寺田和代;木内孝司 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/038(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种放射线感应组合物，其含有具有质子性极性基团的环状烯烃类聚合物、放射线感应化合物、交联剂以及溶剂，其特征在于，该溶剂含有在同一分子内具有互不相同的两个烷基的二亚烷基二醇二烷基醚。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||