翻边式遮蔽框

摘要

在此叙述一种用以处理基板的装置。一种用于控制基板上的沉积的装置可包括腔室、基板支撑件、以及遮蔽框，腔室包括遮蔽框支撑件，基板支撑件包括基板支撑表面，遮蔽框具有遮蔽框主体及可分离式唇部，遮蔽框主体包括第一支撑面以及相对于第一面的第二支撑面，可分离式唇部与遮蔽框主体连接。可分离式唇部可包括支撑连接件、第一唇部表面、第二唇部表面、第一边缘、以及第二边缘，第一唇部表面面对基板，第二唇部表面相对于第一唇部表面，第一边缘设置在第一支撑面上方，第二边缘相对于第一边缘以接触基板。

主权项

一种用于控制基板上的沉积的装置，所述装置包括：遮蔽框，所述遮蔽框包括：遮蔽框主体，所述遮蔽框主体具有第一支撑面、第二支撑面及内边缘，其中所述第一支撑面在位于处理腔室的遮蔽框支撑件中时面对基板支撑件的基板支撑表面，所述第二支撑面相对于所述第一支撑面，所述内边缘具有所述第一支撑面和所述第二支撑面之间的长度，所述长度实质上等于要处理的基板的厚度；及可分离式唇部，所述可分离式唇部与所述遮蔽框主体连接并以可固定的方式设置在所述第二支撑面上，所述可分离式唇部具有第一唇部表面、第二唇部表面、第一边缘、以及第二边缘，所述第一唇部表面面对所述基板支撑件，所述第二唇部表面相对于所述第一唇部表面，所述第一边缘设置在所述第一支撑面上方，所述第二边缘相对于所述第一边缘；以及支撑连接件，所述支撑连接件将所述遮蔽框主体耦接至所述可分离式唇部。