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Digital-Analog-Wandler-(DAC)/Verstärkertestsystem (200) zur Verwendung in einem Elektronenstrahl-(e-beam)Maskenschreiber, wobei der Elektronenstrahlmaskenschreiber dadurch gekennzeichnet ist, dass er eine Mehrzahl von Ablenkplatten (310, 312, 314, 316, 318, 320, 322 und 324) und eine Mehrzahl von DAC/Verstärker-Schaltungen (202, 204, 206, 208) zur Ausgabe analoger Spannungssignale enthält, wobei jede DAC/Verstärker-Schaltung (202, 204, 206, 208) einen ersten Ausgangsanschluss (234, 236, 238, 240) und einen zweiten Ausgangsanschluss (218, 222, 226, 230) aufweist, wobei die ersten Ausgangsanschlüsse (234, 236, 238, 240) der Mehrzahl von DAC/Verstärker-Schaltungen (202, 204, 206, 208) jeweils konfiguriert sind, Ausgangsanalogspannungen als Ablenkspannungen an Ablenkplatten des Elektronenstrahlmaskenschreibers bereitzustellen, wobei das Testsystem umfasst: eine Summierschaltung (248), die konfiguriert ist, die Ausgangsanalogspannungssignale an den zweiten Ausgangsanschlüssen (218, 222, 226, 230) zu empfangen, um alle empfangenen, analogen Spannungssignale zu summieren und um ein Summiersignal auszugeben, das die Summe der empfangenen Analogspannungssignale anzeigt; einen Signalgenerator (260) zum Erzeugen eines Austastsignals; und eine Analysatorschaltung (252), die konfiguriert ist, das Summiersignal zu empfangen, wobei die Analysatorschaltung (252) umfasst: eine programmierbare Hochgeschwindigkeitsdigitalisierschaltung (254), um das Summiersignal zu einem digitalisierten Summiersignal zu digitalisieren; und eine Fehlerdetektionsschaltung (256), die konfiguriert ist, das digitalisierte Summiersignal und das Austastsignal zu empfangen und das digitalisierte Summiersignal mit einem Fehlertoleranzbereich zu vergleichen, um zu überprüfen, ob das digitalisierte Summiersignal während eines Detektionszeitraums des Austastsignals innerhalb des Fehlertoleranzbereichs liegt. |
