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发明名称 SUBSTRATE-CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07256224(A) 申请公布日期 1995.10.09
申请号 JP19940074438 申请日期 1994.03.18
申请人 NIKON CORP 发明人 ABE NOBUTOSHI
分类号 B08B7/04;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/04 主分类号 B08B7/04
代理机构 代理人
主权项
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