| 发明名称 |
END STATION FOR ION IMPLANTING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0855814(A) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
| 申请号 |
JP19940206125 |
申请日期 |
1994.08.09 |
| 申请人 |
NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD |
发明人 |
KIMURA TOSHIO |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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