| 主权项 |
一种基板加工机之压力脚装置，该压力脚装置系包含：一本体，该本体系包含一上本体及一下本体，该上本体及该下本体系利用一连接物来连接；该上本体有一第一中空结构，该连接物上部有一孔，该第一中空结构与该孔系相互贯通而连通；该下本体有一第二中空结构，该连接物下部有一多边形槽，该第二中空结构与该多边形槽系相互贯通而连通；该上本体及该下本体系利用该连接物上部之该孔与该连接物下部之该多边形槽相互贯通而连通，且该连接物上部之该孔之孔中心轴线与该连接物下部之该多边形槽之多边形槽中心轴线系非共线；以及一抽气通道，该抽气通道系与该下本体之该第二中空结构相互贯通而连通。如申请专利范围第1项所述之基板加工机之压力脚装置，其中，该上本体另设有一与外部相连通之一空气流进或流出通道，且该空气流进或流出通道系与该第一中空结构相互贯通而连通。如申请专利范围第1、2项中任一项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一上盖，该上盖与该上本体系固结在一起。如申请专利范围第3项所述之基板加工机之压力脚装置，其中，该下本体之底部另设有一刷毛单元。如申请专利范围第3项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一冷却液入口，该冷却液入口系设于该本体外部，一冷却液系从该冷却液入口流入该本体内；一冷却液导管，该冷却液导管一端与该本体连通，另一端为一冷却液出口。如申请专利范围第1项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一上盖，该上盖与该上本体系固结在一起，且该上盖与该上本体于固结之间设有一空气流进或流出间隙，且该空气流进或流出间隙系与该第一中空结构相互贯通而连通。如申请专利范围第6项所述之基板加工机之压力脚装置，其中，于下本体之底部另设有一刷毛单元。如申请专利范围第6项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一冷却液入口，该冷却液入口系设于该本体外部，一冷却液系从该冷却液入口流入该本体内；一冷却液导管，该冷却液导管一端与该本体连通，另一端为一冷却液出口。一种基板加工机之压力脚装置，该压力脚装置系包含：一上本体，该上本体有一第一中空结构，该上本体底部有一孔，该第一中空结构与该孔系相互贯通而连通；一下本体，该下本体有一第二中空结构，该下本体顶部有一多边形槽，该第二中空结构与该多边形槽系相互贯通而连通；该上本体及该下本体系利用该上本体之该孔及该下本体之该多边形槽相互贯通而连通，且该上本体之该孔之孔中心轴线与该下本体之该多边形槽之多边形槽中心轴线系非共线；以及一抽气通道，该抽气通道系与该下本体之该第二中空结构相互贯通而连通。如申请专利范围第9项所述之基板加工机之压力脚装置，其中，该上本体另设有一与外部相连通之一空气流进或流出的一通道，且该空气流进或流出通道系与该第一中空结构相互贯通而连通。如申请专利范围第9、10项中任一项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一上盖，该上盖与该上本体系固结在一起。如申请专利范围第11项所述之基板加工机之压力脚装置，其中，该下本体之底部另设有一刷毛单元。如申请专利范围第11项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一冷却液入口，该冷却液入口系设于该下本体外部，一冷却液系从该冷却液入口流入该下本体内；一冷却液导管，该冷却液导管一端与该下本体连通，另一端为一冷却液出口。如申请专利范围第9项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一上盖，该上盖与该上本体系固结在一起，且该上盖与该上本体于固结之间设有一空气流进或流出间隙，且该空气流进或流出间隙系与该第一中空结构相互贯通而连通。如申请专利范围第14项所述之基板加工机之压力脚装置，其中，于下本体之底部另设有一刷毛单元。如申请专利范围第14项所述之基板加工机之压力脚装置，其另设有一冷却液入口，该冷却液入口系设于该本体外部，一冷却液系从该冷却液入口流入本体内；一冷却液导管，该冷却液导管一端与该本体连通，另一端为一冷却液出口。 |
