发明名称 |
高阻抗射频功率塑料封装 |
摘要 |
本公开内容涉及RF功率半导体器件。根据本公开内容的一个实施例,RF功率半导体器件(10)包括:半导体(RF)器件(12);低温共烧陶瓷(LTCC)阻抗匹配结构(14),其电气连接到RF器件;和塑料封装体(22),其形成在RF器件和阻抗匹配结构上。LTCC阻抗匹配结构包括金属化层(28、36),其覆盖该阻抗匹配结构的主体部分,并且包括金属化层上的钝化层(44)。该钝化层增强了塑料封装体的成型化合物对于金属化层的接合强度。部分金属化层通过钝化层暴露出来,用于能够在LTCC阻抗匹配结构和RF器件之间形成电气互连。优选地,根据本公开内容的实施例的RF功率塑料封装呈现出至少两倍于传统的RF功率塑料封装的终端阻抗的终端阻抗。 |
申请公布号 |
CN100382258C |
申请公布日期 |
2008.04.16 |
申请号 |
CN200480014807.5 |
申请日期 |
2004.05.28 |
申请人 |
飞思卡尔半导体公司 |
发明人 |
罗伯特·J·麦克劳克林;亚历山大·J·埃利奥特;L·M·玛哈林甘;斯克特·D·马歇尔;皮埃尔-马里·J·皮耶尔 |
分类号 |
H01L21/44(2006.01);H01L21/48(2006.01);H01L21/50(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/44(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
李涛;钟强 |
主权项 |
1.一种半导体器件,包括:射频器件;低温共烧陶瓷阻抗匹配结构,其电气连接到射频器件;和塑料封装体,其形成在射频器件和阻抗匹配结构上。 |
地址 |
美国得克萨斯 |