发明名称 |
金属用研磨液及研磨方法 |
摘要 |
本发明提供金属用研磨液及研磨方法,该金属用研磨液含有(1)金属的氧化剂,(2)氧化金属溶解剂,(3)通过在金属膜表面形成物理吸附和/或化学结合而形成称为氨基酸或唑类的保护膜的第1保护膜形成剂、(4)辅助第1保护膜形成剂形成称为聚丙烯酸、聚酰胺酸或者其盐的第2保护膜形成剂,以及(5)水。 |
申请公布号 |
CN100381537C |
申请公布日期 |
2008.04.16 |
申请号 |
CN200510068160.0 |
申请日期 |
1999.08.31 |
申请人 |
日立化成工业株式会社;株式会社日立制作所 |
发明人 |
内田刚;星野铁哉;上方康雄;寺崎裕树;松泽纯;本间喜夫;近藤诚一 |
分类号 |
C09K3/14(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
钟晶 |
主权项 |
1.一种金属用研磨液,它含有作为通过物理吸附和/或形成化学键在金属膜表面形成保护膜的化合物的第1保护膜形成剂;以及作为辅助第1保护膜形成剂形成保护膜的化合物的第2保护膜形成剂;上述第1保护膜形成剂是选自氨、胺、氨基酸、亚胺、唑、硫醇及糖类中的至少一种。 |
地址 |
日本东京都 |