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Zum Bestimmen einer optimierten Scheibengestaltung werden mindestens zwei Scheibengestaltungen für eine gegebene Scheibe spezifiziert, wobei jede Scheibengestaltung die Position in Bezug auf die Scheibe definiert. Es wird ein Optimierungsparameterwert zumindest eines Optimierungsparameters für jede der mindestens zwei Scheibengestaltungen bestimmt. Der mindestens eine Optimierungsparameter umfasst die Anzahl an Belichtungsfeldern, die zum Belichten der jeweiligen Scheibengestaltung erforderlich ist, und/oder die Anzahl der Chips der Scheibengestaltung. Die optimierte Scheibengestaltung wird aus den mindestens zwei Scheibengestaltungen in Abhängigkeit von den Optimierungsparameterwerten ausgewählt.
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