Antenna for Inductively Coupled Plasma And Insulating Support Apparatus

摘要

본 발명의 일 실시예에 따른 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나를 고정하는 절연 지지 장치는 서로 연속적으로 연결된 제1 폭 부위, 제1 길이 부위, 제2 폭 부위, 및 제2 길이 부위를 포함하고 사각링 형상을 가지는 외측 몸체부; 유도 결합 플라즈마를 형성하는 외측 안테나를 수용하기 위하여 상기 제1 길이 부위 및 제2 길이 부위의 상부면 및 하부면에 각각 형성된 외측 안테나 수용부; 상기 외측 몸체부의 상기 제1 폭 부위에서 길이 방향으로 연장되는 내측 몸체부; 및 유도 결합 플라즈마를 형성하는 내측 안테나를 수용하기 위하여 상기 내측 몸체부의 상부면 및 하부면에 각각 형성된 내측 안테나 수용부;를 포함한다. 상기 외측 안테나 수용부는 설치 높이가 다른 상기 외측 안테나를 지지하고, 상기 내측 안테나 수용부는 설치 높이가 다른 상기 내측 안테나를 지지한다.