| 发明名称 |
GERÄT ZUR AUTOMATISCHEN PRÜFUNG VON KOMPLEXEN VORRICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69333571(T2) |
申请公布日期 |
2005.08.04 |
| 申请号 |
DE19936033571T |
申请日期 |
1993.07.26 |
| 申请人 |
CREDENCE SYSTEMS CORP., FREMONT |
发明人 |
DINTEMAN, J. |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/319;(IPC1-7):G01R31/28;G06F11/26 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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