制造用于有机发光二极管的光提取基板的方法

摘要

一种制造用于有机发光二极管(OLED)的光提取基板的方法，用所述方法可以人工控制从所述OLED发出的光的散射分布。所述方法包括通过将无机氧化物在基底基板上至少两次沉积来形成光提取层的步骤，从而控制在所述光提取层的表面上形成的纹理的结构。

主权项

一种通过常压化学气相沉积制造用于有机发光二极管的光提取基板的方法，所述方法包括通过将无机氧化物在基底基板上沉积至少两次来形成光提取层，从而控制在所述光提取层的表面上形成的纹理的结构，其中沉积所述无机氧化物至少两次包括：在所述基底基板上形成第一薄膜层；和在所述第一薄膜层上形成第二薄膜层，其中所述第一薄膜层和所述第二薄膜层分别通过在彼此不同的第一沉积温度和第二沉积温度下沉积相同的无机氧化物而形成，从而形成具有至少双层结构的所述光提取层，其中所述第二薄膜层的表面结构取决于所述第一薄膜层的表面结构。