| 发明名称 |
Substrate Buffering Apparatus System and Method For Treating Substrate |
| 摘要 |
본 발명은, 내부에 복수의 기판이 대기되는 대기공간과 상기 복수의 기판이 가열되는 가열공간을 형성하는 버퍼챔버, 상기 버퍼챔버의 가열공간을 가열하는 히팅유닛, 및 상기 버퍼챔버의 내부에서 상기 복수의 기판이 각각 적재되는 다단의 슬롯을 구비하고, 상기 대기공간과 상기 가열공간 사이를 이동가능한 기판 홀더를 포함하여, 기판에 대한 처리시간 및 이송시간을 단축하고, 기판처리공정의 효율을 향상시킬 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR20160123564(A) |
申请公布日期 |
2016.10.26 |
| 申请号 |
KR20150053733 |
申请日期 |
2015.04.16 |
| 申请人 |
EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD. |
发明人 |
JUNG, WOO DUCK;CHOI, KYU JIN;HAN, SEONG MIN;KIM, JUN;CHOI, SUNG HA |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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