MEMS MEMS STRUCTURE HAVING ROUNDED EDGE STOPPER AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

摘要

MEMS 소자를 제조하는 방법이, 캐리어 기판 위의 희생 층 상에 복수의 라운드형 에지 트렌치를 형성하는 단계를 포함한다. 그 후, 트렌치를 충전하기 위해 희생 층 위에 다결정 실리콘 층의 형성이 이루어진다. 복수의 정지부가 트렌치에 의해 규정되며 그리고 다결정 실리콘 층으로부터 캐리어 기판을 향해 돌출한다. 이어서, 희생 층의 일부가, 다결정 실리콘 층과 캐리어 기판 사이에 리세스를 규정하기 위해 그리고 정지부들을 노출시키기 위해, 제거된다.