发明名称 テラヘルツエリプソメーターシステム及びその使用方法
摘要 A terahertz ellipsometer, the basic preferred embodiment being a sequential system having a backward wave oscillator (BWO); a first rotatable polarizer that includes a wire grid (WGP1); a rotating polarizer that includes a wire grid (RWGP); a stage (STG) for supporting a sample (S); a rotating retarder (RRET) comprising first (RP), second (RM1), third (RM2) and fourth (RM3) elements; a second rotatable polarizer that includes a wire grid (WGP2); and a Golay cell detector (DET).
申请公布号 JP6029684(B2) 申请公布日期 2016.11.24
申请号 JP20140550274 申请日期 2012.04.06
申请人 ジェイ・エイ・ウーラム・カンパニー・インコーポレイテッドJ.A.WOOLLAM CO.,INC. 发明人 ハージンガー,クレイグ エム.
分类号 G01N21/21;G01J4/04;G01N21/3581 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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