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发明名称 DUAL-SIDED SLOT VALVE AND METHOD FOR IMPLEMENTING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1165993(A1) 申请公布日期 2002.01.02
申请号 EP20000914757 申请日期 2000.02.29
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 KROEKER, TONY, R.;MOORING, BENJAMIN, W.;BRIGHT, NICOLAS, J.
分类号 F16K3/18;F16K51/02;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):F16K51/02 主分类号 F16K3/18
代理机构 代理人
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