在γ－LiAlO<SUB>2</SUB>衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法

摘要

一种在γ－LiAlO₂单晶衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法，包括如下具体步骤：<1>将清洗的双面抛光或单面抛光的γ－LiAlO₂衬底及纯度优于99.99％的ZnO单晶或多晶靶材送入脉冲激光淀积系统；<2>将腔内抽成高真空，真空度≥0.1pa，然后充入流动高纯氧气，其气压≥100mTorr；<3>对衬底进行加热，升温至400～650℃，KrF准分子激光通过透镜聚光，经光学窗口照射到装置内的ZnO靶材上，靶材表层分子熔蒸后淀积在γ－LiAlO₂单晶衬底上成膜，缓慢降温后即可得到ZnO单晶薄膜。本方法可以得到质量优异的ZnO单晶薄膜，方法简单、成本较低，有广阔的应用前景和市场潜力。

主权项

1.一种在γ-LiAlO2单晶衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法，其特征在于包括如下具体步骤：<1>将清洗的双面抛光或单面抛光的γ-LiAlO2衬底及纯度优于99.99％的ZnO单晶或多晶靶材送入脉冲激光淀积系统；<2>将腔内抽成高真空，真空度≥0.1pa，然后充入流动高纯氧气，其气压≥100mTorr；<3>对衬底进行加热，升温至400～650℃，KrF准分子激光通过透镜聚光，经光学窗口照射到装置内的ZnO靶材上，靶材表层分子熔蒸后淀积在γ-LiAlO2单晶衬底上成膜，缓慢降温后即可得到ZnO单晶薄膜。