电子源衬底的制造方法

摘要

提供一种电子源衬底的制造方法，可以减少测定衬底的目标位置的时间，其包括：测定工序，其中，沿一个方向对衬底和测定装置中的至少一个进行扫描，以测定衬底的位置；控制工序，其中，根据测定工序的结果而控制吐出液滴的吐出位置；以及吐出工序，其中，基于控制工序，沿一个方向对所述喷墨头和所述衬底中的至少一个进行相对地扫描，同时，由喷墨头在所述衬底表面上的一对电极间吐出并施加含有导电性薄膜材料的液滴；其中，所述测定工序的扫描方向和所述吐出工序中的扫描方向基本平行，且在一个扫描过程中进行所述测定工序和所述吐出工序。

主权项

1.一种电子源衬底的制造方法，其特征在于包括：第一吐出工序，一边使表面具有多个电极对的衬底和吐出含有导电性薄膜材料的液滴的喷墨头这两者中的至少一者沿一个方向相对地扫描，一边从所述喷墨头吐出该液滴，施加在该多个电极对中的第一电极对上；测定工序，使所述衬底和用于测定该衬底在相互正交的X、Y、Z方向中的至少一个方向上的位置的测定装置这两者中的至少一者沿一个方向相对地扫描，以测定位于所述衬底上的多个电极对中与所述第一电极对不同的第二电极对的位置；以及第二吐出工序，在所述第一吐出工序结束后，基于所述测定工序的结果，一边使所述喷墨头和所述衬底这两者中的至少一者沿一个方向相对地扫描，一边从所述喷墨头吐出所述液滴，施加在所述第二电极对上，其中所述测定工序中的扫描方向与所述第一吐出工序中的扫描方向平行，且在对所述第一电极对吐出液滴时测定所述第二电极对的位置。