发明名称 用以计算空间光调制器的虚拟影像的系统与方法
摘要 一种计算一空间光调制器阵列的虚拟影像的方法,该方法包含:计算一像素干涉矩阵,该像素干涉矩阵代表该空间光调制器阵列中像素之间的成对干涉;计算对应至该像素的调制状态的有效灰阶值;以及根据该像素干涉矩阵与该有效灰阶值计算该虚拟影像。该有效灰阶值仅依据该像素的调制状态而定。该像素干涉矩阵仅依据位置变量而定。该位置变量为在影像平面中的位置以及在电磁辐射源平面中的位置。该像素干涉矩阵可以是函数矩阵。该像素干涉矩阵可以是四维矩阵。该有效灰阶值使用sinc函数逼近,或是使用多项式函数逼近。
申请公布号 CN100470372C 申请公布日期 2009.03.18
申请号 CN200510068423.8 申请日期 2005.04.29
申请人 ASML控股股份有限公司 发明人 阿扎特·M·拉蒂博弗
分类号 G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 王波波
主权项 1. 一种计算一空间光调制器阵列的虚拟影像的方法,该方法包含:计算一像素干涉矩阵,该像素干涉矩阵代表该空间光调制器阵列中像素之间的成对干涉;计算对应至该像素的调制状态的有效灰阶值;以及根据该像素干涉矩阵与该有效灰阶值计算该虚拟影像。
地址 荷兰费尔德霍芬