发明名称 | 用以计算空间光调制器的虚拟影像的系统与方法 | ||
摘要 | 一种计算一空间光调制器阵列的虚拟影像的方法,该方法包含:计算一像素干涉矩阵,该像素干涉矩阵代表该空间光调制器阵列中像素之间的成对干涉;计算对应至该像素的调制状态的有效灰阶值;以及根据该像素干涉矩阵与该有效灰阶值计算该虚拟影像。该有效灰阶值仅依据该像素的调制状态而定。该像素干涉矩阵仅依据位置变量而定。该位置变量为在影像平面中的位置以及在电磁辐射源平面中的位置。该像素干涉矩阵可以是函数矩阵。该像素干涉矩阵可以是四维矩阵。该有效灰阶值使用sinc函数逼近,或是使用多项式函数逼近。 | ||
申请公布号 | CN100470372C | 申请公布日期 | 2009.03.18 |
申请号 | CN200510068423.8 | 申请日期 | 2005.04.29 |
申请人 | ASML控股股份有限公司 | 发明人 | 阿扎特·M·拉蒂博弗 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王波波 |
主权项 | 1. 一种计算一空间光调制器阵列的虚拟影像的方法,该方法包含:计算一像素干涉矩阵,该像素干涉矩阵代表该空间光调制器阵列中像素之间的成对干涉;计算对应至该像素的调制状态的有效灰阶值;以及根据该像素干涉矩阵与该有效灰阶值计算该虚拟影像。 | ||
地址 | 荷兰费尔德霍芬 |