平整薄膜层喷孔结构制造方法、薄膜层结构及喷墨打印机

摘要

本发明公开了一种平整薄膜层喷孔结构的制造方法以及用该方法制造的薄膜层结构，以及包括该薄膜层结构的喷墨打印机，该方法先用牺牲材料制成压力腔外形，然后将薄膜层覆盖在由牺牲材料制成的压力腔外形四周，形成压力腔的墙体和平整顶部，在由薄膜层形成的压力腔顶部上形成喷孔后将牺牲材料去除，形成压力腔，其中的牺牲材料为可湿法释放的无机牺牲材料，薄膜层优选SU-8光刻胶或聚酰亚胺。由于用本发明的方法制造的平整喷孔薄膜层结构的薄膜层整体由有机材料形成，在表面不会形成凹槽，不会造成油墨和其他污染物的累积；压力腔墙体坚固不易损坏。该平整喷孔薄膜层结构的制造方法更利于批量化生产。

主权项

一种平整薄膜层喷孔结构的制造方法，包含如下步骤：(1)在基底上，采用牺牲材料，并将牺牲材料制成压力腔外形，压力腔下表面与基底上表面连接；(2)将薄膜层覆盖在由牺牲材料制成的压力腔外形四周，形成压力腔的墙体和平整顶部；(3)在由薄膜层形成的压力腔平整顶部上形成贯穿薄膜层的喷孔；(4)在基底上形成贯穿基底的进墨通道，所述进墨通道与牺牲层对应、连通；(5)将牺牲材料去除，形成压力腔。