| 发明名称 | 涂布于抗蚀剂图案的含有聚合物的涂布液 | ||
| 摘要 | 本发明的课题是提供代替以往的冲洗液使用的、涂布于抗蚀剂图案的涂布液。本发明的解决方法是一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液，含有聚合物和溶剂，所述聚合物具有下述式(1)所示的结构单元，所述溶剂含有水和/或醇类，<img file="DDA0001089348920000011.GIF" wi="347" he="270" />(式(1)中，R<sup>1</sup>表示碳原子数为1～12的有机基团，X表示下述式(2)所示的有机基团。<img file="DDA0001089348920000012.GIF" wi="674" he="134" />式(2)中，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>分别独立地表示直链状或支链状的碳原子数为1～3的亚烷基，该R<sup>2</sup>与前述式(1)中的氧原子结合，R<sup>4</sup>表示碳原子数为1～4的烷氧基、烯丙氧基或羟基，p表示0、1或2。))。 | ||
| 申请公布号 | CN106030418A | 申请公布日期 | 2016.10.12 |
| 申请号 | CN201580010173.4 | 申请日期 | 2015.02.03 |
| 申请人 | 日产化学工业株式会社 | 发明人 | 志垣修平;境田康志;坂本力丸 |
| 分类号 | G03F7/40(2006.01)I;G03F7/32(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;C08G77/14(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 孙丽梅;段承恩 |
| 主权项 | 一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液，含有聚合物和溶剂，所述聚合物具有下述式(1)所示的结构单元，所述溶剂含有水和/或醇类，<img file="FDA0001089348890000011.GIF" wi="347" he="270" />式(1)中，R<sup>1</sup>表示碳原子数为1～12的有机基团，X表示下述式(2)所示的有机基团，<img file="FDA0001089348890000012.GIF" wi="674" he="136" />式(2)中，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>分别独立地表示直链状或支链状的碳原子数为1～3的亚烷基，该R<sup>2</sup>与所述式(1)中的氧原子结合，R<sup>4</sup>表示碳原子数为1～4的烷氧基、烯丙氧基或羟基，p表示0、1或2。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||