发明名称 |
INGOT FIXING UNIT APPARATUS FOR CUTTING INGOT HAVING THE SAME AND MONITORING METHOD THEREOF |
摘要 |
잉곳 고정 유닛, 이를 구비하는 잉곳 절단장치 및 이의 모니터링 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 고정 유닛은 상/하로 이동되는 구동 플레이트, 구동 플레이트의 하부측에 설치되어 하부면에 잉곳이 부착되는 잉곳 고정 플레이트, 구동 플레이트와 잉곳 고정 플레이트 사이에 설치되어 잉곳 고정 플레이트의 3축 방향의 힘을 측정하는 감지수단, 및 감지수단과 전기적으로 연결되어 감지수단에서 측정된 신호를 수신하는 제어수단을 포함할 수 있다. |
申请公布号 |
KR20160128855(A) |
申请公布日期 |
2016.11.08 |
申请号 |
KR20150060901 |
申请日期 |
2015.04.29 |
申请人 |
WOONGJIN ENERGY CO., LTD. |
发明人 |
BAIK, SUNG SUN;WOO, NAM KYOO;JANG, SOON HO;CHOI, HYO IL;KIM, NAM KI;BAE, DONG WOO;JUNG, SEUNG GU |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/66;H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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