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发明名称
摘要
申请公布号 JP3622598(B2) 申请公布日期 2005.02.23
申请号 JP19990302820 申请日期 1999.10.25
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/76;(IPC1-7):H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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