| 发明名称 |
RETAINING DEVICE, ESPECIALLY FOR FIXING A SEMICONDUCTOR WAFER IN A PLASMA ETCHING DEVICE, AND METHOD FOR SUPPLYING HEAT TO OR DISCHARGING HEAT FROM A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1459354(B1) |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
| 申请号 |
EP20020781125 |
申请日期 |
2002.10.04 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BREITSCHWERDT, KLAUS;LAERMER, FRANZ;SCHILP, ANDREA |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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