真空室进气调节装置及调节方法

摘要

一种真空室进气调节装置，该装置包括：供气装置、多个流量控制机构及多个进气管，所述供气装置具有一进气口与多个出气口，流量控制机构位于真空室外部，且与所述多个出气口分别连接，该进气管包括一进气端及一出气端，该进气端与流量控制机构相连接，该出气端位于真空室内部，且该出气端上至少设有一通气孔。一种真空室进气调节方法即利用所述装置对真空室内气体分布进行调节。所述真空室进气调节方法可在不破坏真空室真空状态的情况下调节真空室内气体分布，操作简单，且节省时间。

主权项

1.一种真空室进气调节装置，其特征在于：该真空室进气调节装置包括供气装置、多个流量控制机构及多个进气管，所述供气装置具有一进气口与多个出气口，流量控制机构位于真空室外部，且与所述多个出气口分别连接，该进气管包括一进气端及一出气端，该进气端与流量控制机构相连接，该出气端位于真空室内部，且该出气端上至少设有一通气孔。